基于TCAD工具的超突变结变容二极管设计

• 作者: 李智群 杨勇 王玉林 郝达兵
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机辅助设计技术 超突变结变容二极管 离子注入 注入-扩散法 工艺重复性
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 553-556
• 页数: 4页
• 分类号: TN312.1
• 字数: 2363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.06.009

摘要

根据超突变结变容二极管设计和工艺特点,报道了利用SILVACO公司工艺模拟软件Athena、器件模拟软件Atlas等完成超突变结变容二极管的几何结构、浓度分布、工艺参数、电学参数等的设计,根据设计参数通过某型号Si超突变结变容二极管生产情况验证设计参数和电参数的吻合情况,改进实际工艺参数和模拟参数的容差系数;分别利用离子注入-扩散法和双离子注入法完成器件工艺制作,提高了的工艺重复性和成品率.采用TCAD技术大大缩短了研制周期、降低了费用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李智群	东南大学集成电路学院	76	576	10.0	20.0
2	杨勇	中国电子科技集团公司第五十五研究所	52	961	18.0	30.0
6	王玉林	中国电子科技集团公司第五十五研究所	19	180	7.0	13.0
7	郝达兵	中国电子科技集团公司第五十五研究所	2	3	1.0	1.0