Zr-Al-N及Zr-Al-Si-N复合膜的微结构及力学性能

• 作者: 喻利花 尤建飞 董松涛 许俊华 靳树强
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: Zr-Al-N复合膜 Zr-Al-Si-N复合膜 微结构 显微硬度 反应磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 12-16
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

采用多靶反应磁控溅射技术制备不同Al含量的Zr-Al-N复合膜及不同Si含量的Zr-Al-Si-N复合膜.采用能谱仪、X射线衍射仪和显微硬度计对薄膜进行测试,研究Al含量对Zr-Al-N复合膜微结构和力学性能的影响以及Si含量对Zr-Al-Si-N复合膜微结构和力学性能的影响.结果表明,当Al含量为13.97at%时,Zr-Al-N复合膜的硬度达到最大,最大值为27.16 GPa,随着Al含量的继续增加,薄膜由Bl(NaCl型面心立方结构)型结构向Bl-B4(ZnS型纤锌矿结构)型双相结构转变,硬度急剧降低;当Si含量为18.79at%时,Zr-Al-Si-N复合膜的硬度达到最大,最大值为34.43 GPa,进一步增加Si含量薄膜向非晶态转化,薄膜硬度降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳树强		1	5	1.0	1.0
2	董松涛		1	5	1.0	1.0
3	尤建飞		1	5	1.0	1.0
4	喻利花		1	5	1.0	1.0
5	许俊华		1	5	1.0	1.0