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摘要:
基于高场非对称波形离子迁移谱原理设计了一种由离子源,迁移区和检测器3部分组成的生化传感器.传感器采用真空紫外灯作离子源,高纯氮(99.999%)为载气,在常压下工作.加工了两种由两平行金属极板组成的迁移区,一种由两平板铜块组成,尺寸为25 mm×10 mm×1 mm;另外一种由微机电(MEMS )工艺加工,尺寸为20 mm×10 mm×1.5 mm.MEMS工艺加工的迁移区间距为1.5 mm,电场强度<10 000 V/cm,不能过滤丙酮离子;铜块迁移区间距为1 mm,电场强度>10 000 V/cm.当方波非对称射频电压峰峰值为1 600 V,频率为195.8 kHz,占空比为30%,补偿电压为-8.63 V时,采用平板铜块迁移区实现了丙酮离子的位移补偿,实验结果验证了传感器的性能.
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文献信息
篇名 基于高场非对称波形离子迁移谱的生化传感器的设计
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 高场非对称波形离子迁移谱 生化传感器 迁移区 微机电系统
年,卷(期) 2009,(9) 所属期刊栏目 微纳技术与精密机械
研究方向 页码范围 2218-2223
页数 6页 分类号 TP212.2
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.09.022
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研究主题发展历程
节点文献
高场非对称波形离子迁移谱
生化传感器
迁移区
微机电系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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