甲烷浓度对CVD自支撑金刚石薄膜残余应力的影响

• 作者: 吕反修 朱宏喜 毛卫民 谢秋风 赵清坡
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石薄膜 织构 弹性模量 残余应力
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 122-127
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

根据唯像理论研究了化学气相沉积自支撑金刚石薄膜中织构和弹性性能之间的关系,揭示了晶体取向和织构对残余应变和残余应力的影响.织构使CVD金刚石薄膜杨氏模量和宏观残余应变呈现各向异性,而且两者呈现相反的分布规律.织构和杂质都能影响金刚石薄膜的弹性模量和残余应变,但是织构的影响是主要的.实验中测量的残余应变很好的符合了根据薄膜织构计算得到的弹性模量值.因此可以借助改变薄膜织构来调节薄膜的残余应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫民	北京科技大学材料科学与工程学院	351	4505	35.0	51.0
2	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
3	谢秋风	河南科技大学材料科学与工程学院	2	12	1.0	2.0
4	朱宏喜	河南科技大学材料科学与工程学院	20	29	3.0	4.0
6	赵清坡	河南科技大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0