基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
针对脉冲能量5~8 mJ的ArF准分子激光器,设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源,采用国产可控硅和磁开关材料,获得了上升时间约150 ns,电压10~14 kV,传递能量0.35~0.68 J的激励脉冲,并实现了对准分子激光器快放电激励.三级磁开关总效率35%,分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大,并提出了相应改进办法.
推荐文章
kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
准分子激光器
全固态脉冲功率模块
磁开关
磁脉冲压缩
全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用
全固态高压脉冲电源
半导体光刻
准分子激光
磁开关
闸流管
准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究
激光器
复位系统
磁脉冲压缩
脉冲电源
准分子激光
准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究
准分子激光
微加工
刻蚀
能量
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究
来源期刊 强激光与粒子束 学科 工学
关键词 准分子激光 全固态脉冲电源 磁开关 可控硅 磁脉冲压缩
年,卷(期) 2009,(11) 所属期刊栏目 脉冲功率技术
研究方向 页码范围 1750-1754
页数 5页 分类号 TN245|TN86
字数 2575字 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (40)
共引文献  (65)
参考文献  (16)
节点文献
引证文献  (29)
同被引文献  (39)
二级引证文献  (78)
1951(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1982(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1985(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1989(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1991(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1995(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1996(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1997(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1999(4)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(4)
2000(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2001(3)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(3)
2002(8)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(6)
2003(8)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(7)
2004(10)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(10)
2005(6)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(3)
2006(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2008(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2009(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2009(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2010(3)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(0)
2011(4)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(2)
2012(9)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(5)
2013(20)
  • 引证文献(9)
  • 二级引证文献(11)
2014(4)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(3)
2015(14)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(13)
2016(15)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(12)
2017(14)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(12)
2018(7)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(6)
2019(13)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(11)
2020(3)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
准分子激光
全固态脉冲电源
磁开关
可控硅
磁脉冲压缩
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
  • 期刊分类
  • 期刊(年)
  • 期刊(期)
  • 期刊推荐
论文1v1指导