传输线脉冲发生器电压探测中振荡问题的研究

• 作者: 曾传滨 李晶 海潮和 王显泰 韩郑生
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电放电 传输线脉冲发生器 振铃 上冲 电压探测 电压波形
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 封装、测试与设备
• 页码范围: 365-369
• 页数: 5页
• 分类号: TN406
• 字数: 2411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2009.04.017

摘要

对传输线脉冲发生器电压探测中的振荡问题进行了研究.通过减小电压探头的寄生电感克服了振铃问题.通过缩短电压探头和待测器件之间的传输段传输线长度降低了探头处实际承受的上冲电压,从而有效地抑制了传输线脉冲发生器电压探测中的振荡问题,提高了测试的准确性,并在国内率先制造出了波形质量达到国际先进水平的传输线脉冲发生器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	海潮和	中国科学院微电子研究所	72	277	9.0	13.0
2	韩郑生	中国科学院微电子研究所	122	412	10.0	12.0
3	李晶	中国科学院微电子研究所	127	2691	28.0	50.0
4	曾传滨	中国科学院微电子研究所	12	34	4.0	5.0
5	王显泰	中国科学院微电子研究所	13	77	5.0	8.0