基于单片式微波集成电路的终端式MEMS微波功率传感器

• 作者: 廖小平 田涛 许映林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微波功率传感器 MMIC
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1656-1659
• 页数: 4页
• 分类号: TN62|TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.07.025

摘要

提出了一种基于塞贝克效应的终端式MEMS微波功率传感器,该传感器的制作工艺与GaAs单片式微波集成电路(MMIC)工艺兼容.利用热电偶检测温度差,生成与微波功率成比例的直流电压,由GaAs/Au热电偶串联构成热堆.传感器将电功率转化为热,再间接测量热堆生成的直流电压.采用微机械加工技术,去除了器件底部的GaAs衬底,从而减小了热损耗和电磁损耗,提高了灵敏度.测试结果表明,在0～20 GHz内,HFSS模拟的S11＜-22 dB;测试输入功率为-20～20 dBm时,频率为0～20 GHz;在20 GHz时,灵敏度高于0.15 mV/mW;在整个频率范围内,回波损耗低于-26 dB.