石英湿法腐蚀及侧壁晶棱修平工艺研究

• 作者: 吴学忠 李圣怡 王浩旭 谢立强
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英 湿法腐蚀 侧壁晶棱 修平工艺
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1713-1716
• 页数: 4页
• 分类号: TN306.7
• 字数: 2032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.12.008

摘要

以石英陀螺的微结构为研究对象,对石英的湿法腐蚀规律进行研究.选用500 μn厚Z切向石英片,蒸镀10 nm厚Cr膜和200 nm厚金膜作为掩模层,选用40%氢氟酸和40%氟化铵的1:1混合溶液作为腐蚀液.通过在不同温度下的腐蚀试验,表明腐蚀速率随温度增加而增大,温度过低腐蚀过慢影响腐蚀效率,温度过高使石英侧壁表面粗糙度增加.经过试验摸索,在70℃下腐蚀,可获得表面质量较好的石英微结构.石英在湿法腐蚀中结构侧壁会产生两级晶棱,根据侧壁主要晶面的腐蚀速率,计算出修平侧壁两级晶棱所需时间分别为8h和27h,经过试验验证,在预计时间内,石英侧壁晶棱基本修平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	王浩旭	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	26	3.0	4.0
4	谢立强	国防科技大学机电工程与自动化学院	3	21	2.0	3.0