预应力压电泵的结构设计与实验研究

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 预应力 压电泵 稳定性 传输特性
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 研究探讨
• 页码范围: 30-32,36
• 页数: 4页
• 分类号: TH323
• 字数: 1925字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种由压电晶片驱动的新结构微泵,采用精密机械加工工艺制作而成.设计了预应力阀膜,组装压电微泵,对预应力阀的可靠性和压电微泵的液体输送特性做了研究.通过系统的实验研究证明:预应力压电泵具有很好的防倒吸能力,稳定性高,具有很好的工作性能,在250V,200Hz方波信号下,流速可达5.5027mL/min,且适于微型化,可为该类型泵的实际应用提供有意义的借鉴.