高精度标准单晶硅球直径测量系统的研究

• 作者: 叶声华 康岩辉 罗志勇 邾继贵
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 直径测量 硅球 相移扫描
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1392-1395
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.10.005

摘要

为建立我国高准确度固体密度基准和质量自然基准,对高精度标准单晶硅球直径测量系统进行了研究.论述了平面波前激光干涉法测量直径的原理和方法,分析了相移扫描、温度测量控制、以及硅球体积计算等系统的关键组成部分,并给出了各部分的实验结果.理论分析和实验结果表明,整个直径测量系统目前的不确定度为3 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶声华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
2	邾继贵	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	156	2628	27.0	45.0
3	罗志勇		35	216	8.0	13.0
4	康岩辉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	12	3.0	3.0