MEMS水平谐振式磁强计的建模与仿真

• 作者: 尤政 张弛 杨建中 胡穆之
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁强计 谐振 微机电系统 建模 仿真
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 仿真技术应用
• 页码范围: 2787-2790
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

设计了一种基于洛仑兹力原理的水平谐振式磁强计.该磁强计利用了通电导线感应磁场强度并转化为电容值的方法进行检测,具有较高的灵敏度,结构相对简单,加工难度较小.建立了敏感元件的力学模型,推导了系统刚度、挠度、谐振频率和敏感度公式,并进行了有限元仿真,仿真结果与理论计算的挠度和谐振频率相吻合,验证了该方案的可行性和理论模型的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
2	张弛	清华大学精密仪器与机械学系	66	317	10.0	16.0
3	杨建中	清华大学精密仪器与机械学系	11	52	3.0	7.0
4	胡穆之	清华大学精密仪器与机械学系	2	15	1.0	2.0