RHEED在计算Al2O3晶面间距中的应用

• 作者: 王兆阳 胡礼中
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反射式高能电子衍射仪 晶面间距 氧化铝
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺技术与材料
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: TN307
• 字数: 1349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2009.01.021

摘要

反射式高能电子衍射仪(RHEED)是一种表面分析工具,以往都是用来对晶体进行定性观察,以研究晶体的结晶状况,很少用来进行晶体结构的定量计算.在分析RHEED的工作原理的基础上,研究了A1203衍射条纹宽度、电子束入射方向和晶面方向之间的关系,并尝试利用RHEED来分析和计算Al2O3(0001)面上两个重要方向上的晶面间距,得到了理想的结果.由于RHEED是一种原位监测仪器,所以可对薄膜的生长进行实时原位监测.在测晶面间距等常数时,与对样品要求极高的透射电子显微镜相比,RHEED更方便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡礼中	大连理工大学物理与光电工程学院	28	160	8.0	11.0
2	王兆阳	沈阳航空工业学院理学院	7	29	1.0	5.0