基于二次谐波检测的电容式微惯性器件频率响应测试方法研究

• 作者: 侯占强 吴学忠 李圣怡 肖定邦 谢立强
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二次谐波 频率响应 微惯性器件 微机电系统
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.01.015

摘要

针对电容式微惯性器件信号微弱、耦合噪声大的特点,提出了一种基于二次谐波检测的频率响应测试方法,详细介绍r该测试方法的基本原理,设计了基于此方法的频率响应测试系统,分析了测试系统中存在的误差,以本实验室研制的电容式微陀螺为测试对象,对该方法和传统的一次谐波检测方法进行了对比,结果表明,该方法能够有效地减小电路中耦合噪声对测试结果的影响,提高频率响应测试精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	肖定邦	国防科技大学机电工程与自动化学院	28	149	8.0	11.0
4	侯占强	国防科技大学机电工程与自动化学院	13	72	5.0	7.0
5	谢立强	国防科技大学机电工程与自动化学院	3	21	2.0	3.0