一种基于光散射原理在线测量晶圆表面质量的方法

• 作者: 张楠 郭瑞鹏 陶正苏
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 表面质量 表面粗糙度 光散射 晶圆
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 104-106
• 页数: 3页
• 分类号: TG842
• 字数: 2192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.07.034

摘要

在半导体工业中,晶圆表面质量的检测占据着重要的地位.选择粗糙度参数轮廓算术平均偏差Ra作为衡量表面质量的参数,根据晶圆的一般粗糙度范围(R_a为0.01～0.8 μm),构建了一种基于光散射原理的视觉系统测量装置.通过分析光散射强度分布图像,提取出一些参数来表征Ra,达到检测晶圆表面质量的目的.给出了初步的实验结果,说明了此方案是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶正苏	上海交通大学仪器科学与工程系	27	366	11.0	18.0
2	张楠	上海交通大学仪器科学与工程系	27	111	6.0	10.0
3	郭瑞鹏	上海交通大学仪器科学与工程系	4	61	3.0	4.0