高精度气动传感器的研究

• 作者: 张辉 牛学虎 王凤伟 邓善熙
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气动测量 背压式气动传感器 误差分析
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 102-105
• 页数: 4页
• 分类号: TG87
• 字数: 2821字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2009.07.032

摘要

介绍了气动测量中常用反射式和背压式气动传感器的设计与工作原理.理论分析出提高气动传感器灵敏度和测量范围的方法;通过对影响测量精度主要误差因素的分析,给出相应误差补偿的方法.所研制气动传感器的测量范围为55μm,分辨力为0.02μm,静态误差小于0.25μm,可适用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉		94	519	12.0	18.0
2	邓善熙		81	951	19.0	25.0
3	牛学虎		2	19	2.0	2.0
4	王凤伟		6	48	3.0	6.0