基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究

• 作者: 乔东海 何庆 宫铭举 汤亮 王孟姣 邓越 马军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低频 电容式 圆形硅振动膜 高灵敏度 通频带
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 199-202
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.02.012

摘要

在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构.首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备了直径为0.08 m,厚度约60μm的圆形硅膜,并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器,其中,两极板间的气隙厚度约为100 μm.测试表明,当偏置电压为4.5 V时,该传声器具有较高的灵敏度,100 Hz处的灵敏度约为-27dB,通频带(20～300 Hz)平坦,低频响应部分(0～20 Hz)需要改进方法进一步测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马军	中国科学院声学所声学微机电实验室	71	550	13.0	20.0
2	汤亮	中国科学院声学所声学微机电实验室	13	88	6.0	9.0
3	乔东海	中国科学院声学所声学微机电实验室	25	166	8.0	11.0
4	何庆	中国科学院声学所声学微机电实验室	5	14	2.0	3.0
5	宫铭举	天津理工大学电信学院	19	40	4.0	5.0
9	邓越	中国科学院声学所声学微机电实验室	4	27	3.0	4.0