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微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究
微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究
作者:
俞育德
刘石勇
孔光临
张长沙
彭文博
徐艳月
曾湘波
石明吉
肖海波
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
带隙态
界面相
微晶硅
调制光电流
摘要:
研究了氢化微晶硅薄膜费米能级以上的带隙态密度分布与薄膜微结构关系.采用拉曼谱和红外谱表征不同H稀释比制备的微晶硅薄膜的微结构.薄膜带隙态密度分布由调制光电流的相移分析技术测得.采用三相模型(非晶相、晶相和界面相)分析了薄膜带隙态密度与薄膜微结构的关系.结果表明,材料的带隙态密度随着界面相的增加而增加,当界面体积分数达到最大时,薄膜的带隙态密度也最大,即材料的带隙态密度与界面体积分数正相关.
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内容分析
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文献信息
篇名
微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
带隙态
界面相
微晶硅
调制光电流
年,卷(期)
2009,(8)
所属期刊栏目
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
研究方向
页码范围
5716-5720
页数
5页
分类号
O4
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-3290.2009.08.090
五维指标
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被引次数趋势
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引文网络
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节点文献
带隙态
界面相
微晶硅
调制光电流
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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