具有环境温度自补偿功能的微湿度传感器设计

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 温度 湿度 传感器 补偿
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 70-72
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2078字
• 语种: 中文

摘要

设计了基于微加工技术的微湿度传感器,介绍了湿度传感器基于差分电路原理的温度补偿方法,实验证明:制作的湿度传感器具有半对数线性,环境温度为10～40℃时,湿度传感器输出变化小于±4%RH.