具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械电容式麦克风 自由悬浮敏感膜 空气压膜阻尼 灵敏度 频率带宽
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1571-1575
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2688字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风.采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力.底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的圆形通气孔用来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼.仿真计算表明在5 V偏置电压下麦克风灵敏度为10.62 mV/Pa,工作稳定最大电压为9.7 V,工作频率带宽为0～10.57 kHz.分析结果表明该微机械麦克风能满足市场需求.