中频非平衡磁控溅射沉积Ti-DLC膜摩擦磨损性能研究

• 作者: 张广安 王云峰 王立平 郑越青 陈金明
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 DLC薄膜 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2009.11.010

摘要

采用中频非平衡磁控溅射技术制备Ti掺杂DLC(Ti-DLC)薄膜,对该薄膜的结构、内应力、结合强度进行了分析,分析了该薄膜与不同材料(Si3N4、钢、Ti-DLC)对摩时的摩擦磨损性能.结果表明,该方法沉积的DLC薄膜具有结构致密、内应力低、结合强度较高等特点;Ti-DLC的摩擦磨损性能与对偶材料有关,Ti-DLC与Si3N4对摩时摩擦因数最低,磨损率最高;Ti-DLC与钢对摩时摩擦因数最高,且伴随明显波动;Ti-DLC与Ti-DLC对摩时磨损率最低,达到10-8量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑越青	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	18	91	6.0	8.0
2	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	57	810	15.0	27.0
3	陈金明	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	23	78	5.0	7.0
4	张广安	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	29	137	7.0	10.0
5	王云峰	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	56	597	13.0	22.0