非球面成形致动器排布方法的研究

• 作者: 余景池 曾春梅
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面成形 致动器排布 非球面度梯度 有限元法
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用文学
• 页码范围: 292-300
• 页数: 9页
• 分类号: TH75|TH703
• 字数: 3443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.02.010

摘要

为了实现超薄球面镜的非球面成形,提出了一种采用非球面梯度法求致动器排布初始解的方法.给出了该方法的理论依据、排布方法以及计算非球面度梯度的两种公式;以一大口径离轴超薄非球面镜为例,用非球面度梯度的两种计算公式分别求出了致动器排布初始解,完成了非球面成形的有限元分析,得到了满足面形精度RMS值为21.09 nm的最终解;最后,介绍了致动器排布的优化步骤,比较了非球面梯度法、正方形法和环形法的差异.结果显示,用非球面度梯度平均值公式求出的初始解与最终解最接近,符合非球面度梯度变化率与致动器面密度的关系,而通过优化还能进一步减少致动器数量和面形残差.在相同面形精度下,非球面梯度法排布的致动器个数约为正方形和环形排布的1/2或更少;在相同致动器个数下,非球面梯度法排布的面形残差RMS值约为正方形和环形排布的1/3或更小.结果表明,非球面梯度法更适合在非球面成形领域用于求解致动器排布初始解.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余景池	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	41	634	17.0	23.0
5	曾春梅	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	5	36	3.0	5.0