基于线电极原位制作的微细电解线切割加工

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电解线切割加工 线电极 原位制作
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2738-2743
• 页数: 6页
• 分类号: TG662
• 字数: 2445字
• 语种: 中文

摘要

微细电解线切割加工是一种微细加工新方法.为了提高加工精度,该方法将微米尺度线电极的制作与后续加工集成在一个工艺系统中完成,进行了基于线电极原位制作的微细电解线切割加工技术的研究.从理论上分析了线电极直径大小对微细电解线切割加工精度的影响,提出了原位制作微米尺度线电极的方法,并制作出直径为5 μm的钨丝线电极.通过试验,加工出缝宽为20 μm左右的微型桨叶结构和曲率半径在1 μm以下的微细尖角结构.试验结果表明:线电极的原位制作技术能提高微细电解线切割的加工精度,工艺兼容性好,能满足微米尺度微细结构的加工要求.