基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备

• 作者: 丁桂甫 刘瑞 姚锦元 汪红 程吉凤
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 喷丝头 电铸 激光焊接技术
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TN23
• 字数: 2407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.03.019

摘要

为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用.应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型.实验结果表明:以UV-LIGA技术替代LIGA技术加工的喷丝头微孔侧壁光洁,截面形状多样,孔形均一性好,加工成本低廉.