微小力测量系统的实验研究

• 作者: 付鲁华 吴颖 宋乐 林玉池 王海涛 赵关蓉 齐永岳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微小力值 电容变化量 位移变化量
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TB931
• 字数: 1894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.11.003

摘要

介绍了一种微小力值测量系统的设计方法.系统采用了自主设计的传感器结构,充分利用了圆柱形电容传感器量程大、线性好、边缘效应小等特点,通过高精度直线轴承保证了运动的同轴度,又利用增加屏蔽结构等方法用来消除寄生电容的干扰.检测电路基于新型高精度、集成式电容数字转换器AD7747与单片机,实现了对电容变化量dC的精确测量.实验结果表明:该方法为10~(-5)N以下的微小力值测量提供了一种有效的解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林玉池	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	135	1717	21.0	34.0
2	宋乐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	31	232	9.0	13.0
3	付鲁华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	491	13.0	21.0
4	齐永岳	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	25	239	8.0	14.0
5	王海涛	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	14	122	7.0	10.0
6	吴颖	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	8	55	5.0	7.0
7	赵关蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	17	2.0	2.0