基于激光多普勒效应的MEMS的运动检测

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 激光多普勒效应 时频分析
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 106-107,120
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1459字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种可以测量微机电系统(MEMS)面内瞬时速度和位移的测量系统.该系统利用差动激光多普勒效应,采用了频移技术和接收端的滤波技术将带有MEMS运动信息的光信号接收并解调,然后,利用LabVIEW和Matlab软件对采集的信号进行数字滤波和时频分析,从而得到被测器件的运动参量,为研究MEMS的动态特性提供了准确可靠的方法.