蒸发速率对ITO光学常数的影响

• 作者: 徐晨 朱彦旭 李天璘 沈光地 高国
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: ITO 椭偏仪 电子束蒸发法 蒸发速率
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2009.01.016

摘要

由于ITO具有复杂的微观结构和吸收机制,很难准确测量出它的光学常数.采用变入射角光度椭偏仪(VASE)建立了一套简单的拟合模型,成功拟合出ITO光学常数在可见光范围内随波长的变化关系.并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对ITO薄膜光学常数的影响.根据Hall效应测量了ITO在不同蒸发速率下的载流子浓度,分析了ITO光学常数随蒸发速率增加而增加的机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晨	北京工业大学电控学院光电子技术实验室	63	295	9.0	13.0
2	沈光地	北京工业大学电控学院光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
3	高国	北京工业大学电控学院光电子技术实验室	22	459	8.0	21.0
4	朱彦旭	北京工业大学电控学院光电子技术实验室	21	79	6.0	8.0
5	李天璘	北京工业大学电控学院光电子技术实验室	1	0	0.0	0.0