一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究

• 作者: 丁桂甫 张晓鹏 戴旭涵 苗小丹 赵小林
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 117-120
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3717字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.06.038

摘要

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性.利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试.结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10ms)的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵小林	上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室	56	549	13.0	20.0