无铅压电陶瓷薄膜的制备及应用研究

• 作者: 朱建国 田建华 肖定全 陆雷
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无铅压电陶瓷薄膜 薄膜制备技术 薄膜器件
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 705-708
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 4391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2009.05.001

摘要

无铅压电陶瓷的制备和应用是过去10年左右国际上研究的热点之一.近年来,由于无铅压电陶瓷薄膜可望在信息、传感、航空、机械、生物、医学等行业获得广泛应用,这类薄膜的制备和应用研究也已引起国际上的关注,并推动着无铅压电陶瓷薄膜材料和制备技术的不断发展.结合作者的研究工作,概括介绍了无铅压电陶瓷薄膜材料的研究进展,包括主要的无铅压电陶瓷薄膜材料;这类薄膜的主要制备方法,特别是射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法和溶胶-凝胶法;以及无铅压电陶瓷薄膜材料可能的器件应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖定全	四川大学材料科学与工程学院	178	2267	24.0	42.0
2	朱建国	四川大学材料科学与工程学院	124	1424	17.0	35.0
3	陆雷	四川大学材料科学与工程学院	19	54	5.0	6.0
5	田建华		31	162	9.0	12.0