聚合物双环谐振滤波器的研究

• 作者: 孔光明 张大明 邓文渊 郭洪波 鄂书林 陈长鸣
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 微环谐振滤波器 紫外光刻 SU-8
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光通信及其元器件
• 页码范围: 134-138
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 2857字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093601.0134

摘要

设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CYTOP为下包层,在硅基底上完成了器件的制备.器件的波导端面尺寸为2 μm×1 μm,与设计值相符,扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高.直波导传输损耗的测试结果表明,在1550 nm波长,直波导传输损耗约为2.0 dB/cm.测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图\.测试结果表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,微环谐振滤波器的通光性能良好,实现了滤波功能,器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm,与设计参数值很接近.研究结果表明采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行.