热处理时间对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜结构、形貌和性质的影响

• 作者: 孙惠娜 张锋 辛科 高美珍
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 铟锡氧化物 薄膜 溶胶-凝胶 热处理
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 加工工艺与应用
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 2719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.02.027

摘要

以InCl3*4H2O、SnCl4*5H2O、乙酰丙酮为原料,采用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上制备了ITO薄膜,每次旋涂之后,将样品放在260℃的烘箱中干燥15min,然后进行第二次旋涂,最后在300℃对样品进行热处理.随着退火时间的延长,XRD衍射结果表明,薄膜的结构由退火前的InOCl的简单斜方结构转变为ITO的立方铁锰矿结构.当热处理时间为22h时,薄膜的方块电阻达到最小值1500Ω/□,电阻率为6×10-2Ω·cm,而可见光范围透过率达到最大值83%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙惠娜	兰州大学物理科学与技术学院	3	20	3.0	3.0
2	高美珍	兰州大学物理科学与技术学院	11	68	6.0	8.0
3	张锋	兰州大学物理科学与技术学院	8	90	4.0	8.0
4	辛科	兰州大学物理科学与技术学院	1	7	1.0	1.0