CoFe合金薄膜的制备及原子力表征

• 作者: 徐秋香 汤倩 王佳喜 魏取福
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 CoFe合金薄膜 原子力显微镜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 纳米材料
• 页码范围: 109-111
• 分类号: TS109
• 字数: 2927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.z1.033

摘要

室温下采用射频磁控溅射技术在涤纶纺粘非织造布表面沉积钴铁(CoFe)合金薄膜.通过原子力显微镜(AFM)观察了CoFe合金薄膜在无纺织布表面沉积的微观结构,并较为系统地分析了溅射时间、溅射压强及溅射功率对CoFe合金薄膜微观结构的影响.结果表明,磁控溅射的工艺参数配置对CoFe合金薄膜表面形貌的影响很大,溅射时间的长短、溅射功率的大小对成膜的均匀性有很大影响,在一定的溅射压强(0.5Pa)时合金颗粒将会因团聚而急速增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏取福	江南大学生态纺织教育部重点实验室	184	913	16.0	21.0
2	徐秋香	江南大学生态纺织教育部重点实验室	3	4	1.0	2.0
3	汤倩	江南大学生态纺织教育部重点实验室	3	15	1.0	3.0
4	王佳喜	江南大学生态纺织教育部重点实验室	3	7	1.0	2.0