基于相移干涉的显微镜薄膜厚度测量

• 作者: 李波 胥宏
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 2155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2009.10.030

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李波		5	2	1.0	1.0
2	胥宏		13	21	2.0	3.0