太阳电池用绒面ZnO-TCO薄膜制备技术及特性的研究进展

• 作者: 耿新华 薛俊明 赵颖 陈新亮
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 透明导电氧化物-TCO 绒面结构 薄膜太阳电池
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 本期专题:太阳电池
• 页码范围: 98-103,112
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.054|TN304.25
• 字数: 6717字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.09.019

摘要

概括阐述了薄膜太阳电池用绒面结构ZnO透明导电薄膜(ZnO-TCO)方面的最新研究进展.绒面结构ZnO-TCO薄膜可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本.磁控溅射技术和MOCVD(Lp-MOCVD/LPCVD)技术是制备绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如"弹坑"状和"类金字塔"状表面)的主流生长技术,而喷雾热分解技术则是正在开发的非真空法低成本工艺路线.论述了2种主流技术生长ZnO-TCO薄膜的发展历程,并重点讨论了近期关于绒面ZnO-TCO薄膜微观结构、电学以及光学等特性与工艺关系的研究结果.进一步降低成本和实现大面积产业化是绒面ZnO-TCD薄膜拓展应用的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵颖		16	56	4.0	7.0
2	陈新亮		2	15	2.0	2.0
3	薛俊明		1	13	1.0	1.0