MEMS设计中的2.5维六面体网格划分

• 作者: 严伟 张筱朵 徐帆 徐波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 2.5维六面体网格划分 2.5维结构
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1448-1452
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.043

摘要

介绍了一种用于MEMS设计的六面体网格划分方法.MEMS工艺决定了大部分MEMS模型都是层状结构,本文针对这种结构提出了一种简便的2.5维划分方法,适用于所有面平行于(x, y)平面或者z轴的层状结构.该方法在(x, y)平面内将模型划分为四边形网格,然后在z方向延伸形成六面体.相比于如今使用最多的Sweep划分算法,它在划分前的预处理更少,由于仅仅需要输入划分大小, 使得整个划分过程更加方便,速度也比Sweep方法快了10～1 000倍,10 000个六面体以内的划分可在10 s内完成.同时,该方法也可以通过输入工艺过程参数按照实际MEMS工艺步骤产生3维MEMS模型, 完成从2维版图到3维网格的直接生成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐波		7	15	2.0	3.0
2	徐帆		5	2	1.0	1.0
3	严伟		1	0	0.0	0.0
4	张筱朵		1	0	0.0	0.0