基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计

• 作者: 于海超 刘志远 王惠玲 王洪岩 蔡春丽
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 气体流量 热膜
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 104-106,109
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.06.034

摘要

设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案.仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.1W,响应时间小于50ms,精度可达到0.6%FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志远	中国电子科技集团公司第四十九研究所	19	133	7.0	11.0
2	蔡春丽	中国电子科技集团公司第四十九研究所	10	92	5.0	9.0
3	于海超	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	38	2.0	6.0
4	王惠玲	中国电子科技集团公司第四十九研究所	8	41	4.0	6.0
5	王洪岩	中国电子科技集团公司第四十九研究所	3	10	2.0	3.0