用UV-LIGA技术制造大通孔率精细镍网

• 作者: 周锋 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 精细网片 高开孔率 UV-LIGA 高深宽比
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1267-1273
• 页数: 7页
• 分类号: TN405|TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.012

摘要

高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题.分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,并提出采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备高开孔率大厚度精细金属网板的工艺思路.优选了关键工艺环节的操作参数,表征了试样的形貌特点,检测并分析了试样的相关性能.结果显示,采用优化的工艺条件(前烘65 ℃/20 min,95 ℃/20 min;适量曝光剂量;后烘65 ℃/10 min,95 ℃/15 min;匀胶后静置、随炉冷却;超声辅助显影等)所制备的六边形镍网(边200μm),不仅开孔率高(88%),厚度大((120±3) μm),且具有尺寸精度高(形位误差±2 μm)、孔形一致性好(筋宽偏差＜3 μm)、孔壁平滑等特点.结果表明,UV-LIGA技术是一种制备高通孔率、大厚度精细金属网的有效工艺手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	54	480	14.0	18.0
3	明平美	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	39	222	9.0	13.0
7	周锋	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	1	9	1.0	1.0
8	胡洋洋	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	16	221	9.0	14.0