非球面液滴微透镜固化控制和焦斑测量研究

• 作者: 丁志中 姚海涛 王克逸 詹珍贤
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学器件 非球面透镜 固化 液滴透镜 光斑探针扫描仪
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 3212-3216
• 分类号: O435.2
• 字数: 2648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092911.3212

摘要

利用电场改变液滴透镜的面形得到非球面,并实时检测其面形和焦斑图像,在适当的时候用紫外光固化液滴制作具有良好光学性能的非球面微透镜.比较了非球面液滴微透镜在固化前后面形、焦斑的变化和对透镜性能的影响,讨论了液滴透镜在固化过程中变形的机理和相应的解决方法.用分辨率50 nm的光斑探针扫描仪精确测量了固化后的非球面微透镜的聚焦光斑,测得了光斑轴向分布曲线和均方根直径3.384μm的聚焦光斑,经图像处理计算了透镜的点扩散函数和光学传递函数,评价了所制作的非球面微透镜的聚光和成像能力,并给出了透镜的实际成像图像,对于完善高品质非球面微透镜及其阵列的制作工艺具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王克逸	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	81	512	13.0	18.0
2	詹珍贤	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	7	93	6.0	7.0
3	姚海涛	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	6	47	5.0	6.0
4	丁志中	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	5	48	5.0	5.0