本底真空度对非平衡磁控溅射C/Cr复合镀层性能的影响

• 作者: 李建平 李洪涛 蒋百灵 郭巧琴
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: C/Cr复合镀层 硬度 耐蚀性 结合力 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1750-1753
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2009.10.047

摘要

采用非平衡磁控溅射在GW93镁合金表面制备了镀C/Cr复合镀层,分析了不同本底真空度下在GW93镁合金表面进行非平衡磁控溅射镀C/Cr复合镀层的硬度、耐蚀性、膜基结合力,摩擦系数等.结果表明,非平衡磁控溅射镀C/Cr复合膜层,本底真空度在8.8×10-3～1.0×10-1Pa范围内,镀层硬度与本底真空度成反比,当其为8.8×10-3Pa时,镀层硬度最低为1397Hv0.05,镀层使基体自腐蚀电位提高到-0.940V,显著改善镁合金的耐蚀性,结合力最高可达8.11N,镀层的摩擦系数最低达到0.05.本底真空度对C/Cr复合镀层相组成没有显著影响,不同真空度下的C/Cr复合镀层均以非晶为主.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	李建平	西安工业大学材料与化工学院	150	842	15.0	21.0
3	李洪涛	西安理工大学材料科学与工程学院	23	146	8.0	10.0
4	郭巧琴	西安工业大学材料与化工学院	20	40	5.0	5.0