MEMS工艺模拟与有限元软件接口的实现

• 作者: 李伟华 简福建
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 工艺模拟 有限元分析 接口
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1646-1650
• 页数: 5页
• 分类号: TP307
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.07.023

摘要

微机电系统工艺模拟可在实际加工前预测MEMS器件的实际结构,有利于理解工艺机理,缩短设计周期,减少生产费用.针对目前用于MSMS器件分析的模拟软件尚不能很好地与有限元软件对接的问题,设计了工艺模拟软件与有限元分析软件的接口.通过这个接口,将MEMS工艺模拟所得到的数据经过数据格式的转换导入有限元分析软件(ANSYS)中并建模,使之可以进行诸如机械、热、电等物理参量的分析.在分析了目前关于(曲线)边界轮廓提取的各种方法后,引进了最大圈算法,解决了工艺模拟结果在有限元软件中的模型重构问题,实现了从工艺模拟到有限元分析的无缝对接.提出的接口设计对实现MEMS CAD体系化具有重要的促进作用.