基于可调谐半导体激光吸收光谱的氧气测量方法的研究

• 来源期刊: 光谱学与光谱分析
• 学科: 物理学
• 关键词: 可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS) 工业过程控制 O2浓度在线监测
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 页码范围: 2593-2596
• 页数: 4页
• 分类号: O443.1
• 字数: 2684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2009)10-2593-04

摘要

O2是工业过程中广泛应用的重要气体,在工业生产环境下实现O2浓度的快速在线检测对提高燃烧效率和节能减排具有重要的意义.可调谐半导体激光吸收光谱谐波探测技术是一种具有高灵敏、高选择性、快速响应等特点的气体检测新技术,该技术利用了半导体激光器的可调谐和窄线宽特性,通过精心选择待测气体的某条吸收线可排除其他气体的干扰,实现待测气体浓度的高灵敏快速在线检测.文章以可调谐分布反馈(Distributed feedback,DFB)半导体激光器作为光源,通过波长调制方法对760 nm附近氧气某一吸收线的二次谐波信号测量,从而实现了对氧气浓度的快速在线检测.系统指标达到:检测范围0.01%～20%;检测精度0.1%;长期稳定性1%.