MgO(001)表面上沉积MgO薄膜过程的分子动力学模拟

• 作者: 刘美林 张宗宁 张林 李蔚 祁阳 赵骞
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MgO薄膜生长 分子动力学 计算机模拟 表面扩散
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 199-203
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.z1.033

摘要

采用分子动力学方法模拟了MgO分子连续沉积于MgO(001)表面上的薄膜生长过程,分析了衬底温度和分子入射能对MgO分子在衬底表面上的扩散能力以及对衬底表面覆盖率的影响.模拟结果表明,随着衬底温度的升高,在衬底表面上沉积的MgO分子扩散能力增强,MgO薄膜层中空位缺陷变少.低温下,分子入射能的增大有助于提高衬底表面覆盖率;高温下,表面覆盖率随入射能增大到3.0 eV时达到最大值,入射能继续增大,表面覆盖率减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祁阳	东北大学理学院	45	91	5.0	8.0
2	赵骞	沈阳工业大学理学院	26	58	5.0	6.0
3	张林	东北大学理学院	64	246	9.0	13.0
4	张宗宁	东北大学理学院	4	23	2.0	4.0
5	刘美林	东北大学理学院	2	6	2.0	2.0
6	李蔚	东北大学理学院	7	21	3.0	4.0