数字化气体质量流量计及在材料生长中的应用

• 作者: 胡立群
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 数字化气体质量流量计 RS-485 控制
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器及非电量检测技术
• 页码范围: 155-159
• 页数: 5页
• 分类号: TB663
• 字数: 4920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2009.07.044

摘要

数字化气体质量流量计采用RS-485通讯方式与主控制器连接;流量计的各项功能设置以及检测用数字化的方式完成.相对于模拟接口的质量流量计而言,采用具有数字化接口的流量计组织一个应用网络更为方便,控制更为可靠.本文以Brooks SLA7850S数字质量流量计为例,介绍了有关的通讯协议以及在半导体材料生长中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡立群		13	49	4.0	6.0