GaN及AlGaN薄膜透射光谱的研究

• 作者: 李向阳 李超 李雪 许金通
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaN 透射光谱 光散射 消光系数
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 2294-2298
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3219字
• 语种: 中文

摘要

利用透射光谱矩阵光学原理,对三种GaN或AlGaN外延薄膜的透射光谱进行了分析.在传统的透射光谱拟合方法的基础上,添加了表征材料表面粗糙度、膜内散射情况的拟合参量,拟合曲线与实验曲线达到了准确的吻合.结果表明:外延薄膜透射光谱的拟合可以准确提取出材料的消光系数、表面状况、散射情况、折射率及厚度,从而对样品质量作出详细的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李向阳	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	110	438	10.0	14.0
2	李超	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	155	838	13.0	19.0
3	李雪	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	64	465	12.0	19.0
4	许金通	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	21	40	4.0	5.0