ZnO∶Al薄膜制备及光电性能研究

• 作者: 任洋 朱涛 李颖 赵高扬 郅晓
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 掺铝氧化锌 溶胶-凝胶 电阻率 光学带隙
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1071-1073
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|O472
• 字数: 1636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2009.07.004

摘要

利用溶胶-凝胶法在玻璃基板上制备了Al/Zn原子掺杂比例为0～0.25的掺铝氧化锌(ZnO∶Al或AZO)薄膜,随后分别将其在空气,氧气和氮气3种不同气氛中退火处理,研究了薄膜的光学、电学与结构方面的性质.X射线衍射分析表明AZO薄膜是具有c轴择优取向的六方纤锌矿结构多晶体;通过紫外-可见光分光计测定表明该薄膜在可见光范围内具有>80%的高透过率,随着铝掺杂比例的增大光学能隙增大且吸收边向短波方向移动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
2	李颖	西安理工大学材料科学与工程学院	6	17	3.0	3.0
3	郅晓	西安理工大学材料科学与工程学院	5	38	3.0	5.0
4	任洋	西安理工大学材料科学与工程学院	4	10	2.0	3.0
5	朱涛	西安理工大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0