双偏压辅助HF-PECVD沉积纳米金刚石薄膜工艺参数的AFM分析

• 作者: 唐元洪 张勇 张恩磊 林良武 谭艳 郭池
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 双偏压 热丝-等离子化学气相沉积 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2009,（18）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 字数: 1927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.18.001

摘要

采用双偏压辅助热丝一等离子增强化学沉积系统制备了纳米金刚石薄膜.采用AFM、SEM、Raman等考察了不同工艺条件对纳米金刚石薄膜形貌、粗糙度、内部结构等的影响.结果表明,热丝温度降低,所形成薄膜的晶粒尺寸变大,薄膜表面高低起伏较大,粗糙度也随之增大;随着射频输出功率的增大,等离子体轰击基底的能力增强,但过大的功率会使构成薄膜的晶粒变大;随着偏压的不断增大,氢离子体对薄膜表面的刻蚀程度逐渐增大,从而有利于形成纳米金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张勇	湖南大学材料科学与工程学院	64	923	15.0	29.0
2	唐元洪	湖南大学材料科学与工程学院	67	498	13.0	19.0
4	郭池	湖南大学材料科学与工程学院	20	250	9.0	15.0
5	林良武	中南大学粉末冶金国家重点实验室	9	28	3.0	5.0
6	张恩磊	湖南大学材料科学与工程学院	4	9	2.0	2.0
7	谭艳	湖南大学材料科学与工程学院	4	25	2.0	4.0