Al掺杂ZnO薄膜的制备及其电学性能研究

• 作者: 张杨 李国晶 王红英 范树景 赵淑金
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 溶胶-凝胶法 电学性能
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 356-358
• 分类号: O484
• 字数: 2118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.z1.105

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备掺杂铝的氧化锌薄膜.研究了不同的铝掺杂浓度、薄膜厚度以及退火温度对电阻率的影响,结果表明掺杂铝摩尔分数为2%、退火温度在550℃时电阻率最低,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小.通过XRD和SEM对薄膜的组织结构和形貌进行了表征,结果表明样品表面相对平整、致密,AZO薄膜保持着ZnO六角纤锌矿结构,说明了Al原子对Zn原子的有效替位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国晶	佳木斯大学材料科学与工程学院	21	38	3.0	5.0
2	赵淑金	佳木斯大学材料科学与工程学院	32	120	7.0	8.0
3	张杨	佳木斯大学材料科学与工程学院	12	46	4.0	6.0
4	王红英	佳木斯大学材料科学与工程学院	10	27	3.0	4.0
5	范树景	佳木斯大学材料科学与工程学院	8	39	4.0	6.0