铁电薄膜及其在存储器件中的应用研究现状

• 作者: 刘敬松 李惠琴
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 工艺 疲劳
• 年，卷（期）: 2009,（z2）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 341-346
• 分类号: TP3
• 字数: 5863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.z2.102

摘要

概述了铁电薄膜在非易失存储器中的应用研究现状,将铁电存储器与其他类型存储器进行了比较,针对铁电薄膜在存储器中的应用,探讨了铁电薄膜制备工艺与半导体工艺兼容性、极化疲劳、尺寸效应等几方面的问题,指出了当前研究的重点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘敬松	西南科技大学材料科学与工程学院	6	11	2.0	3.0
2	李惠琴	西南科技大学材料科学与工程学院	3	5	1.0	2.0