Mg/B多层膜退火法中不同制备条件对MgB_2超导薄膜性质的影响

• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: MgB_2超导薄膜 电子束蒸发 超导成相
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 7966-7971
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 语种: 中文

摘要

用Mg/B多层膜退火的方法制备了一系列MgB_2超导薄膜,研究了退火温度、退火时间和薄膜厚度对于MgB_2薄 膜性质的影响.厚度为250 nm的Mg/a多层膜经400℃低温退火后已经生成超导相,此厚度薄膜750℃下退火20-30 min实现最佳超导转变温度(T_c).前驱膜分层厚度相同时,随着薄膜厚度减小MgB_2薄膜T_c明显降低,而且较薄的膜T_c受退火温度影响更加明显.通过减小Mg/B多层膜分层厚度,制备的20 nm厚MgB_2超导薄膜在31 K左右出现超导转变.