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微晶硅薄膜研究前景广阔
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摘要：
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薄膜及晶硅电池组件功率推算研究
薄膜及晶硅电池
功率推算
外推法
内插法
PECVD法低温制备纳米晶硅薄膜晶化特性的Raman分析
纳米晶硅薄膜
晶化率
RF-PECVD
Raman谱
衬底温度对纳米晶硅薄膜微结构的影响
纳米晶硅薄膜
衬底温度
微结构
沉积速率
纳米晶硅多层薄膜的低温调控及其发光特性
纳米晶硅
多层薄膜
显微结构
低温过程控制
纳米粒子
光致发光
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期刊影响力
科技导报
主办单位：
中国科学技术协会
出版周期：
半月刊
ISSN：
1000-7857
CN：
11-1421/N
开本：
大16开
出版地：
北京市海淀区学院南路86号
邮发代号：
2-872
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
11426
总下载数（次）
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