基于改进分水岭算法的硅片缺陷提取方法

• 作者: 张凤全 胡雅颖 齐鸿志
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 图像处理 缺陷检测 形态滤波 分水岭 过分割
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 图像处理
• 页码范围: 296-297
• 页数: 2页
• 分类号: TP751.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2009.09.123

摘要

为了提取硅片表面的缺陷,对其缺陷的提取技术进行了研究,提出了改进水分岭算法进行缺陷提取.该方法首先利用形态滤波对缺陷图像进行滤波,并对滤波后梯度图像进行平滑,在去除噪声的同时很好的保持物体轮廓和细节;为了克服分水岭算法的过度分割问题,利用区域强度准则和边界强度准则对过分割区域合并,很好的解决了过分割问题.实验表明,该方法可以提取精确且封闭的缺陷边缘轮廓,为进一步的缺陷特征量的提取奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐鸿志	河北大学计算中心	21	43	4.0	5.0
2	胡雅颖	河北大学计算中心	7	19	3.0	4.0
3	张凤全		4	2	1.0	1.0